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產(chǎn)品展示

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三維表面形貌測(cè)量?jī)x

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-20
  • 簡(jiǎn)要描述:三維表面形貌測(cè)量?jī)x這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu),對(duì)肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測(cè)。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度,微米級(jí)別的精度和*的穩(wěn)定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)和多層光學(xué)薄膜厚度檢測(cè),就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。
  • 產(chǎn)品介紹

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對(duì)器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對(duì)檢測(cè)手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現(xiàn)在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級(jí)別,這就需要一個(gè)高速、高精度的測(cè)量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測(cè)試儀應(yīng)運(yùn)而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu),對(duì)肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測(cè)。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度,微米級(jí)別的精度和*的穩(wěn)定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)和多層光學(xué)薄膜厚度檢測(cè),就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

 

卓立漢光長(zhǎng)期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā),3D形貌測(cè)試儀就是常年實(shí)踐積累的成果(利號(hào):CN207556477U)。該項(xiàng)技術(shù),具有以下優(yōu)點(diǎn):

技術(shù)

線性共焦光譜技術(shù)

點(diǎn)測(cè)技術(shù)

激光掃描

3D相機(jī)

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

掃描寬度

6.5mm/20mm

點(diǎn)

可選

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面層數(shù)

多層

多層

表面

表面

建模

數(shù)據(jù)量

 

三維表面形貌測(cè)量?jī)x主要特點(diǎn)有:

1、非接觸性測(cè)量;

2、線掃描,高效率;

3、微米級(jí)精度;

4、滿足透明面及高對(duì)比度表面測(cè)試;

5、支持二次開發(fā);

 

三維表面形貌測(cè)量?jī)x主要應(yīng)用

1、精密部件3D尺寸及段差測(cè)試;

2、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測(cè)試;

3、3D玻璃缺陷檢測(cè);

4、半導(dǎo)體表面缺陷測(cè)試;

5、多層薄膜厚度測(cè)試;

 

3D形貌測(cè)試儀產(chǎn)品型號(hào)及規(guī)格

 

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光譜

共焦光譜

精度

1um

8um

重復(fù)性

±0.3um

±4um

線掃寬度

6.5mm

20mm

Z軸量程范圍

1.3mm

5mm

掃描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

 

 

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