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X射線熒光（XRF）能夠測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和性質(zhì)的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質(zhì)物料等。凡是能和x射線發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而且要分析的樣品必須是在真空（4~5pa）環(huán)境下才能測定。         X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。        

近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應用得 多也 廣泛，是一種中型、經(jīng)濟 、高性能的波長色散X射線光譜儀。        X熒光光譜儀具有以下優(yōu)點：        a) 分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。        b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。        c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。       d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。      e) 分析精密度高。       f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。       當然，也有一些不足之處，具體如下：       a）難于作分析，故定量分析需要標樣。       b）對輕元素的靈敏度要低一些。       c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。